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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心其他設(shè)備AMC監(jiān)測阿瑞斯-µVOC半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

產(chǎn)品型號:阿瑞斯-µVOC
更新時間:2024-08-28
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:2659
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品牌杜克泰克產(chǎn)地國產(chǎn)

半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)介紹:

        醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷(HMDS)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)、鄰苯二甲酸二丁酯(DBP)、鄰苯二甲酸二乙酯(DEP)、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

        無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo),通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。


半導(dǎo)體潔凈室氣體分析監(jiān)測系統(tǒng)亮點

一般特點

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能。


工作原理

        GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化,從而確定不同組份的濃度,*的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測限。












 

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